Ürün özellikleri
Birden fazla sürümü (PLC/PC) ve çeşitli ana iletişim protokollerini desteklemek;
SEMI emniyetli üretim standardına uygun olarak gerçekleştirilen tasarım ve üretim;
Yüksek kanal tasarım kapasitesi, UPH400~550 adet;
Birden fazla ürün boyutu ve magazin için uygundur;
MFC levha düzeyinde patentli tasarım, gaz sızıntısının güvenlik kazalarına neden olmasını önler (hidrojen gibi yüksek-riskli gazları destekler);
5pa'ya kadar yüksek sızdırmazlık haznesinin patentli tasarımı;
Su temas açısı<10° (related to the material of product surface);
4 ürünün eşzamanlı işlenmesi için çift alt elektrotlu dört kanalın tasarımı, panele giriş ve çıkış süresini azaltır, verimliliği önemli ölçüde artırır ve işlemede ürün tekdüzeliğini sağlar.
teknik özellikler
|
Fonksiyonel Yapılandırma |
Teknik Parametreler |
|
|
U×G×Y(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Teçhizat |
Net ağırlık (kg) |
1000 |
|
Çevresel açıklık (mm) |
Arkada 600, her iki tarafta 600 |
|
|
Oda |
Hacim(L) |
Yaklaşık 9 |
|
Kanal(no.) |
4 |
|
|
Alt elektrot(adet) |
2(geçiş fonksiyonu) |
|
|
Besleme modu |
Dergi |
|
|
Uyarlanabilir ürün boyutu (mm) |
Genişlik:40-100 Uzunluk:150-300 |
|
|
Elektrot |
Elektrot boyutu (mm) |
528×300 |
|
RF güç kaynağı |
Standart güç(kW) |
1 |
|
Frekans(MHZ) |
13.56 |
|
|
Gaz kontrolü |
Üç kanala kadar |
2 kanal (standart), 3 kanal (isteğe bağlı) |
|
Kontrol sistemi |
İnsan-makine arayüzü |
PC+dokunmatik ekran |
|
Uzak arayüz |
İletişim |
İsteğe bağlı |
|
Vakum pompası |
Opsiyonel kuru pompa |
17CFM |
|
Opsiyonel yağ pompası |
195CFM |
|
|
Temizleme fonksiyonlu opsiyonel kuru pompa |
EVET |
|
|
Azot temizleme akış hızı (SLM) |
2 |
|
|
Vakumlama süresi(S) |
10月15日 |
|
|
Vakum kırma süresi(S) |
3-4 |
|
|
Fabrika tesisleri |
Güç kaynağı |
Üç-fazlı 380V50/60Hz 4,5kW(yağ pompası) |
|
Boyut ve süreç türü |
1/4inç Swagelok |
|
|
Proses gazının saflığı |
Endüstriyel sınıf ve üzeri |
|
|
Proses gazının basıncı (psig) |
10-20 |
|
|
Temizleme gazı boru hattının boyutu ve türü |
1/4inç Swagelok |
|
|
Gaz saflığının temizlenmesi |
Endüstriyel sınıf ve üzeri |
|
|
Temizleme gazının basıncı (psig) |
15 |
|
|
Boyut ve pnömatik tipi |
10 mm iterek-yerleştirme |
|
|
Pnömatik gazın saflığı |
Basınçlı hava, yağ-içermez, çiğlenme noktası 7 dereceye eşit veya daha az parçacıklar<5 |
|
|
Pnömatik gazın basıncı (psig) |
70-90 |
|
|
Basınçlı hava (mm) |
∅8 |
|
|
Uyumluluk |
Sertifikasyon |
YARI |
|
Yardımcı ekipman |
Azot jeneratörü (isteğe bağlı) |
Azot temizleme için isteğe bağlı |
|
Su soğutucu (isteğe bağlı) |
Elektrotların soğutulması için isteğe bağlı |
|
|
Hidrojen kiti (isteğe bağlı) |
Hidrojen arıtımı için isteğe bağlı |
|
|
Egzoz gazı işlemcisi (isteğe bağlı) |
Flor egzoz işlemi için isteğe bağlı |
|
|
Toplu taşıma |
Toplam ağırlık(kg) |
1050 |
|
Paket sayısı |
1 |
|
|
SPM15 standardına uygun paketleme |
EVET |
|
Popüler Etiketler: VP-10S Otomatik Vakumlu Plazma Arıtma Sistemi,VP-10S Otomatik Vakumlu Plazma Arıtma Sistemi